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近期有個客戶委托檢測（SKYLABS）對其的一個薄膜材料進(jìn)行厚度測量，這種薄膜材料一般都是um級別（1um=0.001mm），用普通方法測量是相對困難的。這里天縱君利用了我們的一套金相顯微鏡及其配合的軟件測量系統(tǒng)，相對比較圓滿的完成了此次測量任務(wù)。

【測試原理】采用金相顯微鏡檢測橫斷面，直接以標(biāo)尺以輔助測量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度的方法。

【參考標(biāo)準(zhǔn)】GB/T6462-2005

【測試儀器】金相顯微鏡及金相測量軟件

【測試范圍】一般好的樣品厚度檢測大于1um，才能保證測量結(jié)果在誤差范圍之內(nèi)；厚度越大，誤差越小。

【測試方法的優(yōu)缺點】這種測試方法的優(yōu)點在于適用的鍍層范圍內(nèi)測試結(jié)果特別準(zhǔn)確，誤差非常?。ń?jīng)微分尺校準(zhǔn)其的誤差可以在0.01um以下），可以選擇其作為爭議的仲裁決定方法；這種方法的缺點在于制備鍍層測厚試樣的過程耗時費力。